項目類型:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司污染源在線監測系統
應用場景:采用了OPSIS SYSTEM 400拖帶監測的方案,實現套系統拖帶監測多條煙囪廢氣的功能
監測項目:HF、HCl、CL2、 NH3
系統結構圖:

采用一套OPSIS SYSTEM 400在線監測系統,使用AR600紫外差分吸收光譜分析儀一臺,搭配MX012多路器實現單臺分析儀連續循環測量多條煙囪的功能,該系統對#1~#3煙囪的NH3堿性氣體進行一拖三的在線監測。由于R型光纖的長度有一定的限制,距離站房較遠的#3煙囪使用快速循環回路(FastLoop)進行監測。